Βασικός εξοπλισμός της αυτοματοποιημένης γραμμής παραγωγής PR Cleaning για κατασκευαστές οθονών LCD
Η αυτοματοποιημένη γραμμή παραγωγής καθαρισμού PR (photoresist) είναι ένας βασικός εξοπλισμός υγρής διαδικασίας στην κατασκευή οθονών LCD. Χρησιμοποιείται κυρίως μετά τη διαδικασία φωτολιθογραφίας στο υπόστρωμα της συστοιχίας για την πλήρη αφαίρεση υπολειμμάτων φωτοανθεκτικού, υπολειμμάτων χάραξης και μικρο-επιφανειών. Είναι κρίσιμος εξοπλισμός για τη διασφάλιση της ακρίβειας του κυκλώματος του πίνακα και τη βελτίωση της απόδοσης του προϊόντος. Ιδανικά προσαρμοσμένο στο αυστηρό περιβάλλον παραγωγής ενός καθαρού δωματίου Class 100, επιτυγχάνει εργασίες καθαρισμού υψηλής-ακρίβειας, αυτοματοποιημένου-κλειστού-ελεύθερου ρύπανσης.
Στοχεύοντας το θετικό και το αρνητικό υπόλειμμα φωτοανθεκτικού μετά τη διαδικασία φωτολιθογραφίας, χρησιμοποιεί μια διαδικασία καθαρισμού με υπερήχους πολλαπλών σταδίων + ξεπλύματος υπερχείλισης καθαρού νερού για βαθιά αφαίρεση υπολειμμάτων, οργανικών ρύπων, σωματιδίων σκόνης και άλλων ακαθαρσιών που απομένουν μετά τη φωτολιθογραφία. Μπορεί να αφαιρέσει επιμελώς μικροσκοπικά υπολείμματα κάτω από 0,5μm, αποτρέποντας ελαττώματα όπως ανοιχτά κυκλώματα πάνελ, φωτεινά σημεία και κηλίδες Mura που προκαλούνται από ακαθαρσίες. Σε συνδυασμό με ένα σύστημα φιλτραρίσματος ακριβείας 0,1μm-αποτρέπει τη δευτερογενή μόλυνση. Επιτυγχάνει ενδελεχή αφαίρεση-χωρίς ζημιές, αποφεύγοντας την επίδραση των υπολειμματικών στρώσεων κόλλας στις επόμενες διαδικασίες χάραξης και επίστρωσης, με ποσοστό κάλυψης αφαίρεσης 100%.
Η ενσωματωμένη μονάδα ηλεκτροστατικού ελέγχου ESD ελέγχει αυστηρά την ηλεκτροστατική τιμή εντός του εύρους Λιγότερο ή ίσο με ±100V. Σε συνδυασμό με το αντιστατικό υλικό κοιλότητας και την τεχνολογία παροχής μαγνητικών τροχών χωρίς επαφή, αποτρέπει την ηλεκτροστατική εκφόρτιση από την καταστροφή του κυκλώματος ακριβείας του πίνακα, ενώ επίσης αποτρέπει τις γρατσουνιές, το θρυμματισμό και τη δημιουργία σκόνης από την τριβή στο γυάλινο υπόστρωμα, μεγιστοποιώντας έτσι την προστασία του ενσωματωμένου υποστρώματος».
Θάλαμος δοκιμής σταθερής θερμοκρασίας υψηλής και χαμηλής θερμοκρασίας
Ο πυρήνας του αυτοματοποιημένου εξοπλισμού γραμμής παραγωγής καθαρισμού και στεγνώματος για κατασκευαστές οθονών LCD ενσωματώνει μια λειτουργία διπλού στεγνώματος: κοπή με αερομαχαίρι και στέγνωμα σταθερής-θερμοκρασίας ζεστού αέρα. Αυτό αφαιρεί γρήγορα τους λεκέδες νερού από την επιφάνεια του υποστρώματος, επιτυγχάνοντας υδατογράφημα-ελεύθερο και ίχνος-ελεύθερο στέγνωμα. Μετά το στέγνωμα, η περιεκτικότητα σε υγρασία της επιφάνειας του υποστρώματος πλησιάζει το μηδέν, επιτρέποντας την άμεση μεταφορά στην επόμενη διαδικασία χωρίς δευτερογενή επεξεργασία, διασφαλίζοντας τη συνέχεια της διαδικασίας. Ένα σύστημα ελέγχου PLC επιτρέπει την πλήρως αυτοματοποιημένη λειτουργία κλειστού-βρόχου φόρτωσης, τοποθέτησης, καθαρισμού και εκφόρτωσης. Υποστηρίζει-λειτουργίες παρακολούθησης και συναγερμού σε πραγματικό χρόνο για τη ρύθμιση της συγκέντρωσης του διαλύματος καθαρισμού, της θερμοκρασίας, της υγρασίας και της καθαριότητας. Ο σφραγισμένος θάλαμος και ο σχεδιασμός αρνητικής πίεσης με κλίση εμποδίζουν τη διαρροή χημικού αερίου. Σε συνδυασμό με το περιβάλλον θετικής πίεσης ενός καθαρού δωματίου κατηγορίας 100, επιτρέπει επίσης την ταξινόμηση και ανάκτηση της ανακύκλωσης υπερκαθαρού νερού και των υγρών αποβλήτων, ικανοποιώντας τις απαιτήσεις εξοικονόμησης ενέργειας{12}}και προστασίας του περιβάλλοντος.
Σε σύγκριση με τον παραδοσιακό χειροκίνητο καθαρισμό, οι πλήρως αυτοματοποιημένες γραμμές παραγωγής καθαρισμού PR έχουν αναντικατάστατα πλεονεκτήματα: η αποτελεσματικότητα καθαρισμού αυξάνεται περισσότερο από 3 φορές και σχεδόν 10.000 γυάλινα υποστρώματα μπορούν να υποβληθούν σε επεξεργασία ανά βάρδια, συντομεύοντας σημαντικά τον κύκλο της διαδικασίας. η συνοχή καθαρισμού είναι εξαιρετική, αφαιρεί επιμελώς μικρο-υπολείμματα μικρότερα από 0,5 μm, ελέγχοντας τον ρυθμό ελαττωμάτων του πίνακα εντός 0,5 PPM, αποφεύγοντας αποτελεσματικά ελαττώματα όπως φωτεινά σημεία, σκοτεινά σημεία και διακοπές κυκλώματος στην οθόνη. ο εξοπλισμός υιοθετεί σχεδιασμό-εξοικονόμησης νερού και ενέργειας-, με υψηλό ποσοστό ανάκτησης καθαρού νερού και ταξινομημένη συλλογή και επεξεργασία λυμάτων, που ανταποκρίνεται στις απαιτήσεις παραγωγής προστασίας του περιβάλλοντος. ολόκληρο το μηχάνημα είναι κατασκευασμένο από ανθεκτικό στη διάβρωση PVC και ανοξείδωτο χάλυβα SUS304, με ισχυρή σφράγιση, εύκολο καθάρισμα και συντήρηση και είναι κατάλληλο για 24-ωρη συνεχή λειτουργία σε καθαρούς χώρους, καθιστώντας τον βασικό εξοπλισμό για τους κατασκευαστές οθονών LCD για τη δημιουργία σειρών προϊόντων υψηλής ποιότητας και την ενίσχυση της ανταγωνιστικότητας του πυρήνα.
Βασικός εξοπλισμός στο εργαστήριο φωτολιθογραφίας κατασκευαστών οθονών LCD
Ο εξοπλισμός έκθεσης είναι ο βασικός εξοπλισμός στο εργαστήριο φωτολιθογραφίας και ένας βασικός τομέας διαδικασίας στη διαδικασία κατασκευής συστοιχιών LCD. Γνωστό και ως μηχάνημα λιθογραφίας πάνελ, είναι μια συσκευή οπτικής υγρής επεξεργασίας υψηλής ακρίβειας-. Η κύρια λειτουργία του είναι να μεταφέρει το σχέδιο σχεδίασης του κυκλώματος υποστρώματος σε ένα γυάλινο υπόστρωμα επικαλυμμένο με φωτοανθεκτικό μέσω οπτικής έκθεσης, η οποία είναι ζωτικής σημασίας για το σχηματισμό μικρο-κυκλωμάτων στον πίνακα. Η ακριβής μεταφορά του σχεδίου κυκλώματος από τη φωτομάσκα στο γυάλινο υπόστρωμα είναι η προϋπόθεση για τις επόμενες διαδικασίες χάραξης, επίστρωσης και καθαρισμού PR, καθορίζοντας άμεσα την ποιότητα της οθόνης. Ο εξοπλισμός χρησιμοποιεί μια-διαδικασία έκθεσης χωρίς επαφή, κατάλληλη για μεγάλα-μεγέθη, λεπτά γυάλινα υποστρώματα LCD, αποφεύγοντας γρατσουνιές, ζημιές και μόλυνση του υποστρώματος.
Τα βασικά τεχνολογικά χαρακτηριστικά περιλαμβάνουν ένα-σύστημα ευθυγράμμισης υψηλής ακρίβειας με ακρίβεια επικάλυψης σε επίπεδο micron ή ακόμη και κάτω από{2}}μικρο-επιπέδου, που εξασφαλίζει μηδενική κακή ευθυγράμμιση σε στοίβαξη κυκλώματος πολλαπλών{{4}επίπεδων με σφάλματα που ελέγχονται σε λίγα χιλιοστά της τρίχας. τη χρήση μιας πηγής φωτός ομοιόμορφης έκθεσης και τεχνολογίας δυναμικής εστίασης για την επίτευξη διακυμάνσεων της ενέργειας της έκθεσης<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
Ολόκληρο το εργαστήριο χρησιμοποιεί μια μονόχρωμη κίτρινη πηγή φωτός 589 nm, που φιλτράρει πλήρως το φως μικρού μήκους κύματος-, όπως το υπεριώδες, το μπλε και το λευκό φως, εμποδίζοντας αυτές τις ακτίνες να πυροδοτήσουν πρόωρα φωτοχημικές αντιδράσεις στο φωτοανθεκτικό, προκαλώντας θανατηφόρα ελαττώματα όπως κακή ευθυγράμμιση σχεδίων, ελλιπείς γραμμές, ανοιχτά κυκλώματα, βραχυκυκλώματα. Το σύστημα φωτισμού χρησιμοποιεί έναν συνδυασμό αποκλειστικών κίτρινων LED και φίλτρων διπλής-επίπεδης για την αποφυγή διαρροής αδέσποτου φωτός. Οι πόρτες, τα παράθυρα και τα παράθυρα παρατήρησης είναι εξοπλισμένα με υλικά φίλτρου κατά της υπεριώδους ακτινοβολίας. κινητά τηλέφωνα, κάμερες, φακοί υψηλής ισχύος-και άλλες εξωτερικές πηγές φωτός απαγορεύονται αυστηρά εντός του εργαστηρίου και εφαρμόζεται πειθαρχικός έλεγχος πλήρους-περιοχής φωτός για την εξάλειψη του κινδύνου πρόωρης έκθεσης φωτοανθεκτικού από την πηγή.
Εισαγωγή στην κατηγορία 100 Cleanrooms για κατασκευαστές οθονών LCD
Στον τομέα της κατασκευής LCD υψηλής ακρίβειας{{0}, τα καθαρά δωμάτια Κατηγορίας 100 (καθαρά δωμάτια κλάσης ISO 5) είναι η βασική εγκατάσταση παραγωγής και βασικός δείκτης της τεχνικής ισχύος και της απόδοσης προϊόντος ενός κατασκευαστή. Χρησιμοποιούνται ευρέως σε στάδια βασικής διαδικασίας, όπως συστοιχία, συναρμολόγηση κυψελών και συσκευασία μονάδων από κορυφαίες εταιρείες προβολής όπως η BOE, η TCL CSOT, η HKC και η Tianma. Αυτά τα καθαρά δωμάτια έχουν αυστηρά πρότυπα καθαριότητας, με όχι περισσότερα από 100 αιωρούμενα σωματίδια σκόνης Μεγαλύτερα ή ίσα με 0,5 μm σε διάμετρο ανά κυβικό πόδι αέρα (λιγότερο ή ίσο με 3520 ανά κυβικό μέτρο). Αυτό το επίπεδο καθαριότητας ξεπερνά κατά πολύ αυτό των ιατρικών χειρουργικών αιθουσών, χρησιμεύοντας ως «σκληρό φράγμα» για να αποτρέψει τη σκόνη, τον στατικό ηλεκτρισμό και τους χημικούς ρύπους από το να παρεμβαίνουν στις διαδικασίες ακριβείας. Είναι ένα βασικό στοιχείο υλικού που καθορίζει άμεσα την ποιότητα εικόνας, τη διάρκεια ζωής και το ποσοστό απόδοσης της οθόνης.
Το εργαστήριο έχει σχεδιαστεί και κατασκευαστεί αυστηρά σύμφωνα με τα διεθνή και εγχώρια πρότυπα ISO. Υιοθετεί μια λειτουργία κάθετης μονοκατευθυντικής ροής αέρα, σε συνδυασμό με ένα-σύστημα φιλτραρίσματος ULPA τεσσάρων σταδίων (προ-φίλτρο, φίλτρο μεσαίας-απόδοσης, φίλτρο υψηλής-απόδοσης και φίλτρο εξαιρετικά{-υψηλής-απόδοσης), επιτυγχάνοντας μια αποτελεσματικότητα φιλτραρίσματος έως και 999999. σκόνη και εξαλείφοντας τις νεκρές ζώνες ροής αέρα. Ταυτόχρονα, επιτυγχάνεται ακριβής περιβαλλοντικός έλεγχος σε όλες τις διαστάσεις: σταθερή θερμοκρασία 23±1 μοίρες, σχετική υγρασία ελεγχόμενη στο 45%-55%, κατάσταση θετικής πίεσης που διατηρείται στην καθαρή περιοχή και διαφορά πίεσης μεγαλύτερη ή ίση με 10Pa μεταξύ γειτονικών περιοχών, αποτρέποντας πλήρως τη διείσδυση εξωτερικής σκόνης. λαμβάνοντας υπόψη την ευαισθησία των πάνελ οθόνης σε ηλεκτροστατική ζημιά, χρησιμοποιείται αντι{15}}στατικό εποξειδικό αυτοεπιπεδούμενο δάπεδο και 304 πλάκες από ανοξείδωτο χάλυβα και έγχρωμο χάλυβα καθαρού δωματίου για τοίχους και οροφές, με αυστηρό έλεγχο των τιμών στατικού ηλεκτρισμού σε όλη τη διαδικασία. παρέχεται πρόσθετος έλεγχος για μοριακούς-χημικούς ρύπους VOC και λανθάνουσες παρεμβολές, όπως μικροδονήσεις, που πληρούν τις απαιτήσεις διαδικασιών νανοκλίμακας όπως η φωτολιθογραφία, η εναπόθεση λεπτού φιλμ και η έγχυση υγρών κρυστάλλων.
Το εργαστήριο υιοθετεί μια κλιμακωτή σχεδίαση ζωνών καθαρού δωματίου, χωρισμένη σε μια περιοχή πυρήνα Class 100, μια περιοχή προσωρινής αποθήκευσης Class 1000 και μια βοηθητική περιοχή Class 10.000, με στρώματα που αποτρέπουν τη διασταυρούμενη-μόλυνση και το προσωπικό και οι αυτοματοποιημένες γραμμές μεταφοράς υλικού είναι πλήρως διαχωρισμένες. Το προσωπικό πρέπει να υποβληθεί σε τριπλή διαδικασία αλλαγής ρούχων, ντους αέρα και ηλεκτροστατικής ανίχνευσης και μπορεί να εισέλθει μόνο αφού φορέσει μια πλήρη-στολή καθαρισμού σώματος, γάντια-χωρίς σκόνη και γυαλιά. Τα υλικά μεταφέρονται μέσω αλληλομανδαλωμένων παραθύρων μεταφοράς και υφίστανται επεξεργασία αφαίρεσης σκόνης και στατικού ηλεκτρισμού. το εσωτερικό είναι εξοπλισμένο με κουκούλες στρωτής ροής FFU, διαδικτυακούς μετρητές σωματιδίων, αισθητήρες θερμοκρασίας και υγρασίας, οθόνες διαφορικής πίεσης και άλλο εξοπλισμό για την επίτευξη 24{9}}ωρών παρακολούθησης και ιχνηλασιμότητας δεδομένων σε πραγματικό χρόνο και θα εκδίδει αμέσως προειδοποιήσεις και θα κάνει προσαρμογές σε περίπτωση μη φυσιολογικών δεικτών για να διασφαλίζεται συνεχής περιβαλλοντική σταθερότητα.
